又称辉光渗氮，是利用辉光放电原理进行的。把金属工件作为阴极放入通有含氮介质的负压容器中，汽配件正火，通电后介质中的氮氢原子被电离，在阴阳极之间形成等离子区。在等离子区强电场作用下，氮和氢的正离子以高速向工件表面轰击。离子的高动能转变为热能，半成品正火，加热工件表面至所需温度。由于离子的轰击，工件表面产生原子溅射，正火，因而得到净化，同时由于吸附和扩散作用，氮遂渗入工件表面。
(1)渗氮前的预备热处理调质--渗氮工件在渗氮前应进行调质处理，以获得回火索氏体组织.调质处理回火温度一般高于渗氮温度.
(2)渗氮前的预备热处理去应力处理--渗氮前应尽量消除机械加工过程中产生的内应力以稳定零件尺寸.消除应力的温度均应低于回火温度，保温时间比回火时间要长些，再缓慢冷却到室温.断面尺寸较大的零件不宜用正火.工模具钢必须采用淬火回火，不得用退火.
(3)渗氮零件的表面粗糙度ra应小于1.6um，表面不得有拉毛、碰伤及生锈等缺陷.不能及 时处理的零件须涂油保护，紧固件正火，以免生锈.吊装入炉时再用清洁擦净以---清洁度.
(4)含有尖角和锐边的工件，不宜进行氮化处理.
(5)局部不氮化部位的保护，不宜用留加工余量的方法.
(6)表面未经磨削处理的工件，不得进行氮化.
渗氮用钢---凡含有cr、mo、v、ti、al等元素的低、中碳合金结构钢、工具钢、不锈钢(不锈钢渗氮前需去除工件表面的钝化膜，对不锈钢、耐热钢可直接用离子氮化方法处理)、球墨铸铁等均可进行渗氮. 渗氮后零件虽然具有高硬度、高耐磨性和高的疲劳强度，但只是表面很薄的一层(铬钼铝钢于500--540c经35--65h渗氮层深只达0.3--0.65mm) .必须有强而韧的心部组织作为渗氮层的坚实基底，才能发挥渗氮的作用.总的来看，大部分渗氮零件是在有摩擦和复杂的动载荷条件下工作的，不论表面和心部的性能都要求---.
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