阶段保温15~20h,为吸氮阶段。这一阶段采用较低的氨分解率(18%25%)。零件表面因洗后大量氮原子而与零件心部形成氮浓度差。第二阶段为扩散阶段。在这个阶段为家少活性氮原子的数量而将氨分解率提高到30%~40%,保温时间在60h左右。
为减少渗氮层的脆性,在渗氮结束前2~4h进行退氮处理,氨分解率提高到70%以上,退氮温度提高到560~570℃。等温渗氮工艺过程简单,渗氮温度较低、渗层浅、零件变形小、表面硬度高,但渗氮速度慢,产生周期长,马车螺栓热处理,适用于渗氮---浅,尺寸精度和硬度要求高的零件。
半导体芯片退火
半导体芯片在经过离子注入以后就需要退火。因为往半导体中注入杂质离子时,高能量的入射离子会与半导体晶格上的原子碰撞,使一些晶格原子发生位移,结果造成大量的空位,将使得注入区中的原子排列混乱或者变成为非晶区,胶州热处理,所以在离子注入以后必须把半导体放在一定的温度下进行退火,以恢复晶体的结构和消除缺陷。同时,退火还有施主和受主杂质的功能,即把有些处于间隙位置的杂质原子通过退火而让它们进入替代位置。退火的温度一般为200~800c,比热扩散掺杂的温度要低得多。
球化退火的具体工艺
(图4)有:普通(缓冷)球化退火(图4a),缓冷适用于多数钢种,尤其是装炉量大时,u型栓热处理,操作比较方便,但生产周期长;等温球化退火(图4b),适用于多数钢种,法兰盘栓热处理,---是难于球化的钢以及球化要求高的钢(如滚动轴承钢);其生产周期比普通球化退火短,不过需要有能够控制共析转变前冷却速率的炉子;周期球化退火(图4c),适用于原始组织为片层状珠光体组织的钢,其生产周期也比普通球化退火短,不过在设备装炉量大的条件下,很难按控制要求改变温度,故在生产中未广泛采用;低温球化退火(图4d),适用于经过冷形变加工的钢以及淬火硬化过的钢(后者通常称为高温软化回火);形变球化退火,形变加工对球化有加速作用,将形变加工与球化结合起来,可缩短球化时间。它适用于冷、热形变成形的钢件和钢材(如带材)(图4e是在acm或ac3与ac1之间进行短时间、大形变量的热形变加工者;图4f是在常温先予以形变加工者;图4g是利用锻造余热进行球化者)。
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